中瑞祥解析勻膠機選購巧

勻膠機有很多種稱謂，英文叫Spin Coater或者Spin Processor，又稱甩膠機、勻膠臺、旋轉涂膠機、旋轉涂膜機、旋轉涂層機、旋轉涂布機、旋轉薄膜機、旋轉涂覆儀、旋轉涂膜儀、勻膜機，總的來說，他們原理都是樣的，即在速旋轉的基片上，滴注各類膠液，利用離心力使滴在基片上的膠液均勻地涂覆在基片上，厚度視不同膠液和基片間的粘滯系數而不同，也和旋轉速度及時間有關。

　　選購巧

　　針對目前勻膠機市場品眾多，良莠不齊現象，筆者結合自己多年從事勻膠機術服務的實際經驗。幫助廣大用戶提辨別能力，為用戶提供了直觀明確的選擇標準。

　　從其原理來說，我們可以看出選購勻膠機需要注意的幾個細節

　　1、 旋轉速度:轉速的快慢和控制度直接關系到旋涂層的厚度控制和膜層均勻性。如果標示的轉速和電機的實際轉速誤差很大，對于要求密涂覆的科研人員來說是無法獲得準確的實驗數據的。產的某些勻膠機只能提供轉速范圍，并不能標定實時的轉速。口的勻膠機雖然大分能標定轉速，但是大分轉速度沒有際標準認定。建議購買轉速控制方面有際認定標準的，比如:美NIST標準等。

　　2、 真空吸附系統的構

　　真空泵定要無油的，壓力標定準確，內生產的無油真空泵實在不敢恭維。因為何的油污都可能堵塞真空管道，如果真空吸附力降低，會導致基片吸附不住而產生"飛片"的情況，，他們有通過聯動機制，如果真空吸附力不夠的時候，不會開始旋轉。

　　3、 材質的選擇

　　對于半導體化行業的應用來說，材質的選擇尤為關鍵，大分勻膠機采用的是不銹鋼或者普通塑料材質，因為這種材質的成本很低，不銹鋼的對于各類化膠液的抗腐蝕性不太好，塑料對于較溫度和壓力下易產生變形。如果這種變形引起托盤的位置失去水平的話，將會導致旋涂時，時時低的顛簸狀態。自然無法得到好的旋涂效果。例如美等型號都是采用天然聚丙烯(NPP)或者聚四氟乙烯(氟隆,PTFE)材質。這兩種材質具備綠色環保、節約資源、重量輕、強度大、抗沖擊性能好、堅固耐用、花紋自然、光澤度好等優點。

　　KW型勻膠機適用于半導體藝，制版及表面涂覆等藝。 勻膠機穩定的轉速和快速的啟動，可以保證膠厚度的致性和均勻性，為此，該機采取了如下措施： () 定子和轉子分開供電。定子用穩壓電源供勵磁電流，轉子用開關電源調速，它比用可控硅調速*得多，轉速在1000-8000轉/分范圍內非常穩定。 (二) 勻膠機有兩個轉速。在啟動之后，以低速運轉，使膠攤開，然后自動變到速運轉。兩轉速及相應的時間分別可調。 (三) 本勻膠機測速采用光電的方法，在光電測速盤的邊上有三個缺口，光電盤下面裝有光電開關。當光電盤缺口轉到光電開關上方時，光電開關的接收器沒有信號，當光電盤的反射板(缺口以外的其余分)轉到光電開關上面時，光電接收器便接收到信號產生個脈沖，光電盤旋轉周，光電接受器便接收到三次信號，因而產生三個脈沖。閘門由秒脈沖電路產生，周期為2秒。當馬達旋轉時，如果計時器在2秒內計得的數是n，則每秒鐘應該轉了n/(2×3)=n/6轉，每分鐘旋轉(n/6)×60=10n轉。故計數器就是每分鐘轉速，只不過差個數量。 勻膠機的定時能由時基電路556來成，把556按單穩形式連接，改變RC常數，就可以改變兩個勻膠時間。在安裝結構上，采取了減震措施，在運轉時噪音很低。